熱式質量流（liú）量（liàng）計(控製器)使用中注意事（shì）項

(1)儀表（biǎo）使用時,使用環境應滿足說明書中規定的環境條件和使用攏術規定,流ZUI大值應在所選儀表程（chéng）的規定範圍內。

(2)為了保證 MFM/MFC可緣工作和維護使用方便,儀表使用時應配套安裝適當（dāng）截（jié）止、過濾器,幹燥器、單向、減壓器和背壓等。

(3)由於該儀（yí）表容易發生堵塞現象,所以使用中（zhōng）要經常啟用“清洗”過程和定期清洗配套過濾器。

(4)使用中進行“清洗”操作時（shí）,“清洗”結東,不要直（zhí）接轉入（rù）“閥控（kòng）”位,應先置於“關閉位覺,然後,再轉至“控”位。

(5)對於反應係統,建議（yì）在（zài） MFM/MFC入口處加（jiā）裝過濾器,出口端加裝單向層,以防止異常情況發生時,液體反應物倒流（liú）至儀表內（nèi）使其損壞。

(6)對於常壓係統（tǒng）,一般選擇減壓（yā）器和過濾器與其配套,以便保證儀表可運行和控精度。

(7)對於高壓係統,應在 MFM//MFC的上（shàng）遊（yóu）加裝減壓閥、過濾器,下遊加裝背壓（yā）閿(或（huò）其他節（jiē）流裝)及壓力表,以便（biàn）保證 MFM/MFC應有的（de）工作壓差。

(8)對於矽烷這樣的（de）遇空氣易形成結晶的氣體,應特別注意係（xì）統的密閉性(檢漏時,不要忽（hū）視減壓器（qì）),必要（yào）時設計上吹洗旁路,以便進行氮氣吹洗（xǐ）或正壓保待（dài）。

(9)對有高頻源的係統,應（yīng）注意屏慧,並做好接地,一般選擇單點接地為宜。

(10)對於高真空係統,應盡量減少氣略接頭,對須有的接頭,要嚴格（gé）密封或采（cǎi）用VCR等接頭

(11)對（duì）於 MFM/MFC的安裝位置（zhì）,應盡景（jǐng）選擇水平位置、並且安（ān）裝（zhuāng）麵要水平、安裝（zhuāng）位置要易於裝卸、檢、調零。安裝時要盡量避免受到撞擊,安裝固定要（yào）安全可靠。

(12)使用中,如果工藝係統複雜或使用特殊氣體,儀表的測控係統啟用（yòng）應（yīng）建（jiàn）立專用的操作規（guī）程。

(13)使用中若發現儀表零點偏移時、可通過外罩（zhào）上的調零孔調整,也可（kě）揭開外罩調整,但量程調整電位器不得輕易調（diào）整。

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